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高压电源在离子束方面的应用
发布时间:2021-08-24    来源:2022世界杯腾讯体育    浏览量:1018


离子束


离子束是通过高速加速离子产生的束。离子是带正电或负电的原子或原子团。离子加速是通过施加任意电压将离子移动到目的地。加速器的动量与施加电压的大小成正比。根据离子转移的应用,施加电压的电极有加速电极、引出电极、抑制电极、偏转电极、偏转电极等。它们用于离子引擎、离子束溅射、离子注入、聚焦离子束(FIB)和加速器。为了防止器件内部的电位偏向于加速离子电位,在某些情况下,他有可能会通过加速离子产生离子而被电中和。

为了为FIB生成离子束,使用了由连接有镓的针状钨丝组成的液态金属离子源(LMIS)。当灯丝被加热并向提取电极施加电压时,会从尖端产生离子束。生成的离子然后由加速器的电场和磁场控制,形成狭窄的定向流。离子束控制用于离子束扫描。从离子源提取的离子由聚光透镜(CL)聚焦,离子束由静电偏转器扫描。离子束用于广泛的应用,例如离子束注入、离子束处理和扫描离子显微镜(SIM)。

离子束发生器由离子源(离子枪)、加速器中的电磁透镜和偏转器组成。离子束通过加速器,用于将杂质离子注入半导体、通过离子铣削进行表面清洁、表面处理、表面改性以及表面和内部分析。离子束在真空中被电场加速和减速,并被磁场偏转。离子质量分选通过使离子在磁场中弯曲进行,能量分析通过减速电场法和静电场偏转分析法进行。



 

                                                                                     离子源概念图


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离子束电源: