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2022世界杯腾讯体育针对E-chuck静电吸盘的应用方案
发布时间:2022-03-20    来源:wisman    浏览量:585

背景

在半导体和液晶面板制造工艺中,真空吸盘和机械吸盘系统通常用于固定基板以进行处理。然而,由于吸附、变形的影响以及对提高可靠性的要求,利用静电力的吸盘已被广泛应用于当今的半导体晶圆厂设备中,以克服这些限制。

解决方案

静电吸盘由带有表面电极的平板组成,这些电极被高压偏置,以在平板和晶片之间建立静电力。

有两种类型的静电吸盘可供选择:Coulomb 和 Johnsen-Rahbek (JR) 类型。它们的区别在于它们的介电特性。夹紧力的产生方式也是有些区别。

库仑吸盘的功能类似于传统的介电电容器。

JR 型具有较大但有限的电阻,因此当表面紧密接触并施加电压时,电流会流过它和基板。电荷积聚在衬底和电介质之间的界面处,从而提供夹持力。

此外,吸盘上电极(或电极)的不同配置用于获得不同的特性。根据应用,可提供单极、双极(两极)和多极卡盘(包括 6 相六极类型)。

2022世界杯腾讯体育可为全系列的电子卡盘提供电源,其功能包括: 

高压双极输出(正/负), 

输出极性反转功能,便于晶圆吸附/去吸附, 

通过电容测量(库仑卡盘)或电流测量(JR卡盘)检测晶圆状态的能力, 

模拟和数字接口,可轻松集成到各种系统中

高可靠性,无机械继电器设计。

2022世界杯腾讯体育提供广泛的设计理论知识和制造能力,因此可以提供广泛的定制产品以满足各种要求。根据应用,功能包括高压偏置/偏移和射频滤波等选项。


2022世界杯腾讯体育半导体领域的应用

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